產品分類
更新時間：2025-04-23 
瀏覽次數：918可以使用 GISAXS 和 X 射線反射 （XRR） 測量來測量 CD，以測量薄膜厚度、密度和粗糙度。
兼容最大 300 毫米的晶圓
| 技術 | 傾斜小角 X 射線散射測量 （GISAXS）， X 射線 反射測量 （XRR） | |
|---|---|---|
| 用 | 淺層重復結構的臨界尺寸測量 | |
| X 射線源 | 包合管，Cu Ka （8.04 KeV） | |
| X 射線光學元件 | 多層反射鏡光學元件 | |
| X 射線探測器 | 二維探測器 | |
| 主要組件 | 圖案化晶圓測量周期性 精細3D形狀線 和空間，點或孔結構 ，淺孔/列，抗蝕劑，掩模圖案，存儲設備單元區域，FinFETs/GAAs | |
| 特征 | 圖形識別和全晶圓映射 | |
| 選擇 | GEM300 軟件，支持 E84/OHT | |
| 本體尺寸 | 1865（寬）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括裝載口） | |
| 測量目標 | GISAXS：間距、CD、高度、SWA（側壁角度）、RT（頂部圓角）、RB（底部圓角）、線寬分布、間距分布、高度分布 XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度 | |
關于我們
公司簡介榮譽資質資料下載產品展示
10HEIDON新東科學 摩擦系數測試儀 杭州 38PHEIDON新東科學 刮痕測試機 38FHEIDON新東科學 鋼絲絨耐久性刮痕測試儀 18LHEIDON新東科學 刮痕強度測試儀 寧波 18HEIDON新東科學 刮痕強度測試儀服務與支持
技術文章新聞中心聯系我們
聯系方式在線留言版權所有 © 2026 北崎國際貿易（北京）有限公司 備案號：京ICP備17005343號-5
技術支持：化工儀器網 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部