TG2400M型日本大坂真空OSAKA VACUUM磁懸浮型渦輪分子泵北崎熱賣

更新時間：2025-11-07

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磁懸浮型TG-M系列

使用磁懸浮軸承可實現(xiàn)無油排氣、任何定向安裝以及更長的維護周期。產(chǎn)品陣容提供 340 L/s 至 2400 L/s 的型號。

磁懸浮式渦輪分子泵的截面

ターボ分子ポンプ斷面図（磁気軸受タイプ）

TG2400M

■任何方向

■緊湊的尺寸

■節(jié)能

■快速啟動和停止

■維修電話

■無振動

■型號無聯(lián)軸器

■自動校準

■高吞吐量

■轉(zhuǎn)速控制

■串行通信

■NRTL SEMI-S2 CE安全標準認證

應用

■ 半導體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設備

■ 燈具生產(chǎn)、光學元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設施、核聚變研究
■ 熱處理

■ 研究與開發(fā)

Inlet flange		VG250 ISO-B250
Volume flow rate	N2 (L/s)	2400
	N(with protective screen) (L/s)	2300
	H2 (L/s)	1100
Max. compression ratio	N2	1×108
Max. compression ratio	H2	1.5×103
Base pressure	VG?ISO-B (Pa)	<1×10-6
Base pressure	VG?ISO-B(Torr)	<7.5×10-9
Max. throughput※1	N2 (sccm)	3000
Startup time	(min)	4~5
Shutdown time	(min)	4~5
Max. backing pressure	(Pa / Torr)	200 / 1.5
Recommended backing vacuum pump	(L/min)	≧500
Position		Any orientation
Weight (kg) VG?ISO-B		34 / 42
Controller		TC010MA
Special specifications *Contact our sales representative for more information.		-Chemical-use-Thermal insulation TG-MI

*1 ：使用1000L/min的前級真空泵時。

[使用環(huán)境溫度]

確保您達到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應氣體]

某些類型的要排出的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。